日本小島KOFLOC質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品特色: 通過采用改良型恒定電流溫度差檢測方式流量傳感器,實(shí)現(xiàn)快速回應(yīng)。 通用的常閉型閥門確保了安全 使用電磁執(zhí)行器保證了高效的可靠性 低差壓類型控制適用于燃燒的氣體(LP可選) 另有針對(duì)PM2.5設(shè)備特制品:流量16.7L/MIN,低壓差15Kpa既可,*,高性價(jià)比
技術(shù)參數(shù): 流量FS(N2換算):10SCCM-20SLPM(3660系列) 30SLPM-100SLPM(3665系列) 氣體種類:所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可) 傳感器類型:熱式傳感器 閥門類型:電磁比例閥,常閉 控制范圍:2%-(3660系列) 5%-(3665系列) 控制速度:2%-,2秒以內(nèi) 控制精度:±1.0%FS(3660系列) ±1.5%FS(3665系列) 重復(fù)性:±0.5%FS 工作差壓:滿量程FS≤5升/分鐘,49-294Kpa 5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘,98-294Kpa 低差壓特制:2-149Kpa,根據(jù)具體流量來定制 高差壓特制:294-784Kpa,根據(jù)具體流量來定制 使用溫度:0-50℃ 允許濕度:0-90% 泄漏率:≤1x10-8Pa.m3 /sec(不包含He) 產(chǎn)品材質(zhì):主體-SUS316 密封圈:Viton 可另選:氯丁橡膠,橡膠NBR 管路接頭:1/4英寸卡套(3660系列) 3/8英寸卡套(3665系列) 可另選:1/8英寸卡套、1/4英寸VCR、RC1/4英寸、特殊要求可定制 電氣接頭:D型9針 輸入信號(hào):0-5V(模擬信號(hào)) 輸出信號(hào):0-5V(模擬信號(hào)) 供應(yīng)電源:+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)200mA 產(chǎn)品重量:800g(3660系列)、1000G(3665系列.
電氣D型9針連線示意圖: 1號(hào)針:閥門開關(guān)信號(hào)(可不接) 2號(hào)針:輸出信號(hào)0-5V 3號(hào)針:電源+15VDC 4號(hào)針:電源COM 5號(hào)針:電源-15VDC( 6號(hào)針:輸入信號(hào)0-5V 7號(hào)針:輸出信號(hào)COM 8號(hào)針:輸入信號(hào)COM 9號(hào)針:閥門電壓輸出 日本小島KOFLOC質(zhì)量流量控制器 |